氮气储存柜使用说明及保养手册 / 知会钻

一.概述随着微电子工业的发展，出现了许多特殊用途的微电子器件和电路，这类产品在组装完成后封装前，为了避免受大气中的氧气、水汽、尘埃及其它微量腐蚀性有害气体的影响，需保存在高纯氮气环境中，因此对氮气净化储存柜的需求量越来越大。本设备通过对国外引进的气密封焊等设备充氮系统的分析，并根据具体使用要求，经过多次的设计改进，研制出国内首款采用微电脑芯片全程控制氮气源并自动达到设定湿度的充氮贮存系统。本设备具有操作简单，人性化管理，节约使用成本，自动恒湿恒压等特点。二.主要技术指标产品型号：QUX-3150内腔尺寸：1350mm×1870mm×600mm（W×H×D）。静态氮气消耗量：<0.5m3/h。系统氮气正压:约50mm水柱。三.系统工作原理高纯氮由气瓶经减压器将压力降到1.5-1.8MPa以下，接入设备的氮气输入口，氮气接入口位于设备右侧的控制盒背板正下方（进气管请选用φ6气管），氮气进入气源接驳口后进入电磁阀，再流入流量计，最后直接进入贮存室。整个系统控制是通过微电脑芯片对电磁阀的吸合状态进行有效管理来完成。当电源接通后，电磁阀作为任务完成的执行部件即开始工作，这时会听到电磁吸合的碰撞声，表示气源已开通；冲气过程中，电磁阀的所有开关动作都处于微电脑芯片中的执行程序的控制下，直到湿度达到设定值；当贮存环境的湿度恒定状态被打破，微电脑芯片会重新执行程序。系统的调整主要是进气压力和流量的调整，这两个参数有联系且相互影响。先调节气瓶减压阀，建议气压值在1.5MPa～1.8MPa之间选择。当设定进气气压值后，下一步调节流量计上的流量调节阀。具体调节数值因使用情况不同而有所区别，根据经验，一般取1.5-2L/min，就可满足要求。在这种状态下静态的氮气消耗量很小，一般1满瓶氮气可用大约半个月，实际使用中应尽量减少开门次数，否则会使氮气消耗量增加。开门时，可将流量调整至10L/min，这样可将外界潮湿气流的干扰降到最低，大约30分钟后再恢复到1.5-2L/min。最后，顺便介绍一下日常维护。氮气储存柜在使用一段时间后，由于取放工件等原因，使净化度指标下降（可用专门的测试仪定期检测）。这时可取出工件，先用吸尘器进行清洁处理，再用绸布沾上酒精清洗，最后用高纯氮气吹干，即可重新投入使用。需要指出的是，输入的高纯氮气的纯净度必须达到相关指标（99.99％），否则，氮气储存柜的净化度及储存效果难以达到要求；四.氮气储存柜使用步骤：1. 将氮气瓶或氮气发生气上的外延连接管跟氮气储存柜右侧控制盒下方的接气嘴连接起来；建议使用φ6优质软气管。如使用其它口径气管须用连接头转换再接；2. 将外接电源线连接在220V/50HZ电源插座上；3. 预置湿度：通过操作面板中间两个按键完成。左侧键增加湿度，右侧键减少湿度；操作面板左侧的LED数码管显示器有温度及湿度显示窗口，按键右侧为半圆形动态显示装置；当湿度值达到后，红色LED灯全亮；最右侧为贮存区照明按钮开关（附1分钟延时功能，放便在不打开门的状态观察贮存室内的贮存物品）；4. 将氮气源压力调整在1.5-1.8MPA的位置上（通过氮气瓶上的压力表调整）；如果氮气源的压力小于1.5MPA，将不能推动电磁阀工作，这时会关闭电磁阀；当氮气源压力达到1.5MPA以上，这时可驱动电磁阀供气，供气时间25-30分钟即可将湿度降至20%RH，湿度达到预置值后，微电脑芯片会给电磁阀发出指令，自动关闭该路气源；5. 当开启门取放物料时，可在开起门之前先将流量调整至10L/min，以阻隔外界空气对柜内湿度的影响，拿取物料后将流量调整至1.5-2L/min，同时电磁阀会恢复1.5-2L/min的维持性不间断供气；6. 照明系统：本设备采用环保节能的LED照明技术，功率为3W，光源为冷光源，能有效避免直射光源对贮存物品的影响.

氮气储存柜使用说明及保养手册

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